产品应用：

•  晶圆涂覆

•  药液的填充、称量和混合

•  狭缝涂布

•  光刻胶涂布

•  磁盘涂覆

涂布工艺介绍：

工艺目的：在精密石英基底上获得均匀、无缺陷的光刻胶膜层，为后续的光刻/刻蚀工序做准备。

定量点胶——使用广州飞升FSH-EBP系列高精度计量泵，将光刻胶精准滴注于石英基底中心位置。

产品用途——衍射光栅的高端应用领域

经精密涂覆与光刻工艺制造的产品，已广泛服务于以下前沿领域：

高功率激光系统：用于惯性约束聚变（激光核聚变）中的脉冲压缩光栅，以及飞秒超快激光脉冲的调节与压缩。

AR/VR 增强现实：作为衍射光波导核心元件，将微显示器画面高效耦入人眼，实现虚实融合的沉浸式体验。

精密测量与传感：超高精度位移测量与光栅编码器，广泛应用于半导体晶圆对位等极端精密制造设备。

激光分束与整形：将单束激光分成多束，用于并行激光加工、激光医疗美容及光通信等多元应用。