FSH-LA系列

FSH-LA-D-T系列线性注液泵是广州飞升自主研发设计,全新推出的集高效率、高精度、高稳定性、全数控于一体的智能型注液泵，适用于光刻胶、钙钛矿等涂布领域。

• 液体置换特性好

• 除泡性好

• 高精度动作

• 高可靠性结构
  

①  FSH-LA=线性注液泵型号

② 设备单冲程最大容量：

      30=单冲程最大容量为30ml; 

      300=单冲程最大容量为300ml。

举例说明：

型号：FSH-LA30-D-T

说明：单冲程最大容量为30ml的标准型线性注液泵系统

产品应用：

•  晶圆涂覆

•  药液的填充、称量和混合

•  狭缝涂布

•  光刻胶涂布

•  磁盘涂覆

涂布工艺介绍：

工艺目的：在精密石英基底上获得均匀、无缺陷的光刻胶膜层，为后续的光刻/刻蚀工序做准备。

定量点胶——使用广州飞升EBP30高精度定量泵，将光刻胶精准滴注于石英基底中心位置。

产品用途——衍射光栅的高端应用领域

经精密涂覆与光刻工艺制造的产品，已广泛服务于以下前沿领域：

高功率激光系统：用于惯性约束聚变（激光核聚变）中的脉冲压缩光栅，以及飞秒超快激光脉冲的调节与压缩。

AR/VR 增强现实：作为衍射光波导核心元件，将微显示器画面高效耦入人眼，实现虚实融合的沉浸式体验。

精密测量与传感：超高精度位移测量与光栅编码器，广泛应用于半导体晶圆对位等极端精密制造设备。

激光分束与整形：将单束激光分成多束，用于并行激光加工、激光医疗美容及光通信等多元应用。

涂胶显影工艺流程总览：