FSH-EBP系列

       FSH-EBP泵系统是广州飞升精密自主研发设计,全新推出的集高效率、高精度、高稳定性、全数控于一体的智能型注液泵，适用于光刻胶、钙钛矿等涂布领域。

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① 泵系统型号

举例说明:

FSH-EBP100：吐出流量范围为0.1-100ml，标准型EBP泵系统。

产品应用：

•  晶圆涂覆

•  药液的填充、称量和混合

•  狭缝涂布

•  光刻胶涂布

•  磁盘涂覆

涂布工艺介绍：

工艺目的：在精密石英基底上获得均匀、无缺陷的光刻胶膜层，为后续的光刻/刻蚀工序做准备。

定量点胶——使用广州飞升EBP30高精度定量泵，将光刻胶精准滴注于石英基底中心位置。

产品用途——衍射光栅的高端应用领域

经精密涂覆与光刻工艺制造的产品，已广泛服务于以下前沿领域：

高功率激光系统：用于惯性约束聚变（激光核聚变）中的脉冲压缩光栅，以及飞秒超快激光脉冲的调节与压缩。

AR/VR 增强现实：作为衍射光波导核心元件，将微显示器画面高效耦入人眼，实现虚实融合的沉浸式体验。

精密测量与传感：超高精度位移测量与光栅编码器，广泛应用于半导体晶圆对位等极端精密制造设备。

激光分束与整形：将单束激光分成多束，用于并行激光加工、激光医疗美容及光通信等多元应用。

涂胶显影工艺流程总览：