FSH-EBP系列

       FSH-EBP泵系统是广州飞升精密自主研发设计,全新推出的集高效率、高精度、高稳定性、全数控于一体的智能型注液泵，适用于光刻胶、钙钛矿等涂布领域。

•  低粒子结构

•  高精度动作

•  液体置换特性好

•  高可靠性结构

•  除泡性好

•  无污染

① 泵系统型号

举例说明:

型号：FSH-EBP100-G说明:吐出流量范围为0.1-100ml，标准型EBP泵系统。

• 晶圆涂覆

•  药液的填充、称量和混合

•  狭缝涂布

•  光刻胶涂布

•  磁盘涂覆