在半导体光刻胶涂覆、钙钛矿光伏等高端精密流体输送场景中，日本小金井（KOGANEI）、易威奇（IWAKI）计量泵长期主导市场。但受出口管控、供应链限制等影响，进口泵面临采购困难、供货不稳定、售后响应滞后等问题，严重制约国内半导体、光伏企业产线稳定与产能扩张。

广州飞升深耕精密流体控制领域近20年，自主研发的FSH-EBP 系列高精度计量泵，全面对标进口泵性能，可 1:1 无缝替代小金井、易威奇产品，为半导体、钙钛矿等高端制造领域提供安全、稳定、自主可控的国产解决方案。

一、FSH-EBP 系列核心优势：全面对标进口，性能更适配国产产线

（一）极致精度与重复性，筑牢纳米级工艺基础

针对光刻胶涂覆膜厚误差≤±5nm 的严苛要求，FSH-EBP系列实现顶尖精度控制：

1. 吐出量重复精度≤±1%，保障每片基底光刻胶量高度一致，从源头控制片间膜厚误差；

2. 1μL 超高分辨率，精准适配衍射光栅等小尺寸基底微量点胶需求，避免胶液浪费或过量；

3. 无脉动单次输送，稳定供液压力杜绝压力波动导致的胶量不均，确保每一次出液量完全一致。

（二）全范围流量与粘度适配，覆盖全工艺场景

FSH-EBP 系列完美匹配光刻胶、钙钛矿浆料等多样流体特性：

1. 粘度适配范围 0-300Cp，可稳定输送不同型号、不同用途的光刻胶，无堵塞、无波动；

2. 流量范围 0-10mL/s、单次吐出量 0-30mL/s，根据生产效率、基底尺寸、所需膜厚灵活调节，适配研发到量产全流程。

（三）高洁净度与耐腐蚀性，守护高纯工艺介质

针对半导体级介质要求，FSH-EBP 系列从材料到结构全面优化：

1. 接液部采用SUS316、PTFE、PFA 等高纯材质，耐受光刻胶中强化学溶剂，无溶出、无污染，保证胶液纯度；

2. 超光滑PFA液管 + 极小接液部表面积，几乎杜绝粒子产生，避免颗粒污染导致的涂覆缺陷；

3. 竖管状泵腔设计，无液体滞留死角，确保始终吐出新鲜药液，避免溶液残留变质。

二、FSH-EBP 系列在半导体 / 钙钛矿领域的典型应用

（一）光刻胶定量点胶工艺

使用广州飞升 FSH-EBP30 高精度定量泵，将光刻胶精准滴注于石英基底中心位置，配合匀胶机高速旋转，通过离心力将光刻胶均匀铺展，形成纳米级厚度薄膜，为后续光刻 / 刻蚀工序做好准备。

（二）钙钛矿光伏浆料输送

适配钙钛矿浆料高粘度、高洁净度要求，FSH-EBP 系列可稳定输送浆料，完美匹配钙钛矿电池涂布、印刷等工序，保障浆料均匀性与一致性，助力提升电池转换效率。

三、选择飞升 FSH-EBP 系列替代进口品牌核心原因

1. 相比进口泵，FSH-EBP 系列在供应链安全、产线适配性、综合成本、服务响应上优势显著：

2. 国产自主可控，现货供应无断供风险，彻底解决进口泵采购困难的问题；

3. 专为国内半导体、光伏产线优化，1:1 无缝替代进口泵，无需对产线进行大幅改造，适配性更优；

4. 采购成本与综合维护成本大幅降低，同时本土服务团队响应迅速，可快速提供现场调试、定制化方案等支持；

5. 依托国内头部行业验证经验，产品稳定性与成熟度已获市场认可，可最大程度保障产线稳定运行。

广州飞升精密设备有限公司深耕精密流体控制领域近 20 年，公司产品已批量覆盖锂电前 30 强绝大多数客户，并成功拓展至半导体、光伏等高端制造领域，可为客户提供从产品研发、定制化设计到现场调试、售后运维的全流程解决方案。

FSH-EBP 系列高精度计量泵作为公司核心国产替代产品，已通过多家半导体头部企业量产线验证，全面替代小金井、易威奇等进口泵，为国内高端制造产业自主可控提供坚实支撑。

如需获取 FSH-EBP 系列产品详细参数、替代方案及现场测试案例，欢迎联系我们。