在半导体应用中，光刻胶涂布生产环节受国外技术垄断，且传统进口设备存在的流量波动、维护成本高等缺陷。广州飞升精密设备有限公司凭借多年的技术积累与不断的创新，成功研发出可用于半导体光刻胶涂布的注液泵——FSH-EBP系列注液泵。

广州飞升精密设备有限公司作为一家专注于流体精量控制系统及解决方案的高新技术型企业，始终将研发创新作为企业发展的重要驱动力。在深度了解光刻胶涂布生产工艺的需求后，公司研发团队投入大量精力，经过无数次的试验与优化，成功推出这款自主研发的FSH-EBP注液泵。

这款注液泵采用独特的高精度计量技术，能够实现对光刻胶的精确输送，确保在涂布过程中，光刻胶的用量恰到好处，误差控制在极小范围内。在稳定性方面，运行平稳，可有效避免因泵体震动或流量波动而对光刻胶涂布质量产生的不良影响。无论是长时间连续工作，还是在高精度要求的复杂工艺中，都能始终保持出色的性能表现。

这款自主研发的注液泵打破了国外半导体在该领域的长期垄断。以往，国内企业在光刻胶涂布生产中，不得不依赖进口设备，不仅采购成本高，而且在技术服务、设备维护等方面也受到很多限制。如今，广州飞升的注液泵为国内企业提供了可靠的国产替代方案，降低了企业的生产成本。同时，也为国内半导体产业的自主可控发展提供了有力支撑。

广州飞升精密设备有限公司自主研发的注液泵，除了在光刻胶涂布生产领域展现出强大的实力与潜力外，其主要技术已成功移植到钙钛矿太阳能电池涂布、固态电池涂布等新兴领域，为新能源产业的材料涂覆工艺提供了通用型解决方案。

该款产品还可用于如下应用场景：

·  要求高重复精度和直线型的用途——定量性能重视型

例：晶圆涂覆；药液的填充、称量、混合

·  要求从涂覆开始到结束的膜厚均匀性的用途——定流量重视型

例：狭缝涂布；磁盘涂覆